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HMTS600 系列超精密电控平移台(精密重载型)
HMTS600 系列超精密电控平移台(精密重载型)
HMTS精密电控平移台
HMTS600 系列超精密电控平移台(精密重载型)

主要特征:
◇ 超精密滚珠螺杆传动, 线性滑块导轨
◇ 精度高,承载大
◇ 可选配装光栅尺,准确输出移动量, 实现闭环控制

产品参数

型号

HMTS601

HMTS602

HMTS603

HMTS604

行程 (mm)

50

100

150

200

台面尺寸 (mm)

120×120

120×120

120×120

150×120

导轨

线性滑块

螺杆导程 (mm)

4

分辨率 (mm)

0.00032

最大速度 (mm/s)

20

40

重复定位精度 (mm)

<0.001

轴向间隙 (mm)

<0.004

步进电机 (1.8° )

42 步进电机

最大静转矩 (Ncm)

40

50

中心负载 (kg)

20

30

自重 (kg)

4

6

8.5

12.5

备注

可选配防护罩,应用真空环境中,需单独订货

产品图纸
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