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多轴磁场检测系统
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多轴磁场检测系统

产品介绍

平台 以大 理石平 台为 基座,水平 最长轴 为 Z 方 向,竖 直为 Y 方向,水平短轴为 X 方向,在 XYZ 三坐标平移 的基础上,需平行 Z 轴,增加 一 组旋转机构 T 轴,T 轴 为 0~360 ° 旋 转 台,U 轴 安 装 在 T 轴 台 面 上,实 现 旋转半径的调整。

产品参数

运动轴

X 

Y 

Z 

U轴

T 

有效行程

500mm

500mm

1500mm

300mm

360°

分辨率

1μm


0.01°

定位精度

±10μm

±10μm

±80μm

±10μm

±0.05°

重复精度

±2μm

±2μm

±40μm

±2μm

±0.02°

运动速度

1~30mm/s


1-10° /s

直线度

≤ ±10μm

≤ ±10μm

≤ ±10μm

≤ ±10μm


产品图纸
第31页-86

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