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大口径光学元件扫描检测系统
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大口径光学元件扫描检测系统

产品介绍

测试方式:

二维扫描测试,具有平面反射镜和球面反射镜反射率面扫描测试功能,机械结构具备直角坐标系下的 S 型 二维直线扫描和极坐标系下变径圆周扫描功能, 扫描间隔和密度可软件设定。

 

主体结构要求:

运动机构主体采用大理石,光源端和探测端尽量处于结构中心区;机械结构设计上满足平面镜二维线扫描 测试和球面镜变径圆周扫描测试需求,在球面镜反射率扫描测试过程中,激光器端和探测端应保持固定,镜 面运控机构完成曲面不同测试点的空间定位。

探测端应具备自动运行至空腔位进行空腔测试功能, 镜体夹持机构应具备程序控制移出空腔光路功能。

 

扫描定位精度:

X 、Z 向重复定位精度≤ 2μm ,径向旋转重复定位精度≤ 30μm ,全镜面(400mm 以上)扫描过程中,腔镜 光斑跳动角不大于 ±20urad。

 

反射率测试入射角:

最小入射角≤ 10°, 最大入射角≥ 45°, 可根据需求设定;入射角变化和反射角变化符合光学原理,机械结 构应为零背隙设计, 程序控制自动旋转调节, 角度重复精度≤ 0.02° 。

 

 

产品图纸
第28页-79

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