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大口径介质膜光学元件扫描检测系统
大口径介质膜光学元件扫描检测系统
订制系统
大口径介质膜光学元件扫描检测系统

产品参数

技术指标:

  • 大行程二维平移台扫描范围:650mm×500mm 

  • 大行程二维平移台最大有效负载:≥ 85kg

  • 二维扫描反射光斑跳动量 ( 以龙门吊电动台上的光束检测 定位仪进行测量 ):≤ 0.1mm

  • 大行程二维平移台扫描范围:650mm×500mm

  • 主机宽 x 高 x 深:≤ 3200mm×2700mm×2600mm

检测结果:

序号

名称

量程范围及精度

测试结果

 

 

 

 

1

 

 

 

 

大行程二维电动平移台

扫描范围 650x500mm

合格

二维扫描反射光斑跳动量 ( 以龙门吊电动台上的光 束检测定位仪进行测量 ):≤ 0.2mm

合格

最大有效负载:≥ 85kg

合格

重复定位精度:优于 5μm

合格

最大速度: 30mm/s

合格

俯仰直线度:≤ 50μm

合格

方位直线度:≤ 50μm

合格

 

2

 

电动载物旋转台

旋转角度范围:-2°~ 67°

合格

最大有效负载: 200Kg

合格

电动载物旋转台最大速度:≥ 1° /s

合格

电动转台重复定位精度:优于 0.01°

合格

3

悬臂转台

旋转角度范围:5°~ 185°

合格

电动载物旋转台与悬臂转台同轴度≤ 0.1mm

合格



方位俯仰调整范围:≥ ±30°

合格

最大有效负载:≥ 15kg

合格

4

探测器准直定位机构 二维电动平移台

行程:≥ 50mm×50mm

合格

方位 / 俯仰二维转台角度调整范围:≥ ±5°

合格

5

光束检测分束镜 一维电动平移台

行程: 20mm

合格

6

待测件轴向电动平移台和   待测件方位 / 俯仰电动转台

行程: 20mm

合格

角度调整范围:≥ ±3°

合格

7

主机宽 x 高 x 

≤ 3200x2700x2600mm

合格

8

主机重量

小于等于 2000kg

合格

第24页-73


产品图纸

第24页-71

A:硬限位

B:正限位

C:负限位

D:光电零位


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