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产品参数
技术指标：
大行程二维电动平移台扫描范围：840mm×840mm
大行程二维电动平移台的最大有效负载：≥ 50kg
二维电动平移台的垂直度：≤ 50um
光源系统大行程二维电动平移台 / 主机系统大行程二维 电动平移台 / 进料 / 出料一维电动平移台相互之间的平 行度 / 垂直度：≤ 60um
主机宽 x 高 x 深：≤ 3400mm×2700mm×3000mm
主机重量：≤ 2000kg
检测结果：
序号 | 名称 | 量程范围及精度 | 测试结果 |
1 |
大行程二维电动平移台 ( 包含光源和主机 ) | 量程 800x800mm | 合格 |
水平导轨安装面平面度：优于 50μm | 合格 | ||
最大有效负载：≥ 50kg | 合格 | ||
二维电动平移台垂直度：≤ 50μm | 合格 | ||
重复定位精度：优于 5μm | 合格 | ||
最大速度：≥ 30mm/s | 合格 | ||
俯仰直线度：≤ 50μm | 合格 | ||
方位直线度：≤ 50μm | 合格 | ||
2 | 进料出料一维电动平移台平移台 | 行程：≥ 1000mm | 合格 |
最大有效负载：≥ 150kg | 合格 | ||
3 |
待测件二维电动转台 | 方位俯仰范围：≥ ±3° | 合格 |
最大有效负载：≥ 150kg | 合格 | ||
转台重复定位精度：优于 0.01° | 合格 | ||
转台最大速度：≥ 10° /s | 合格 | ||
4 |
探测器二维电动转台 | 方位俯仰调整范围：≥ ±30° | 合格 |
最大有效负载：≥ 15kg | 合格 | ||
转台重复定位精度：优于 0.01° | 合格 | ||
转台最大速度：≥ 10° /s | 合格 | ||
5 | 光源系统大行程二维电动平移台与 主机系统大行程二维电动平移台平行度 | ≤ 60μm | 合格 |
6 | 主机宽 x 高 x 深 | ≤ 3400x2700x3000mm | 合格 |
7 | 探测器二维电动转台 | 小于等于 2000kg | 合格 |
产品图纸
◇ A：硬限位
◇ B：正限位
◇ C：负限位
◇ D：光电零位
◇ E：逆时针光电限位
◇ F：顺时针光电限位
