产品中心

电控位移台: HMRS电控旋转台系列; HMTS精密电控平移台; HMGC精密电控倾斜台; HMVS精密电控升降台; HMDOM整体多维电控镜架; HMTMS整体多维电控平移台; PAM系列压电螺钉致动器; SMC步进电机控制器; 电控位移台组合示例
手动位移台: BPRS精密旋转台系列; BPTS精密平移台系列; BVTS精密升降台系列; BTP精密倾斜台系列; BTG精密角位台系列; BTMS整体多轴位移台系列; 手动位移台组合系列
光学调整架: 新品镜架; 光束转折镜架; 光学衰减镜架; 可调/同轴透镜架; 反射/分光镜架系列; 五维干涉仪镜架; 万向镜架; 可调式底片固定架; 棱镜台; 偏光镜架; 光阑系列; 狭缝系列; 观察屏/激光挡板
光纤调整架: 精密光纤调整架; 光纤调整架配件
支杆底座: 底板系列; 压板系列; 磁力底座; 接杆系列; 杆架系列; 支撑棒系列; 直角固定块系列; 光学滑轨系列; 光具座配件
光学平台: 光学平板; 光学面包板; 阻尼隔振光学平台; 气浮隔振光学平台; 光学罩箱; 光学平台支架; 仪器架; 工作站
光学仪器: 光栅单色仪; 光源; 锁相放大器
光学元件: 透镜; 反射镜; 棱镜、偏振片; 波片; 滤光片; 光栅、显微物镜; 激光防护眼镜
订制系统

产品参数

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Model	MGWsys-4W-CM
轴系 Axis	X	Y	Z
行程 (mm) Travel	800mm	400mm	200mm
定位精度 (μm) Accuracy	±3μm	±2μm	±1μm
双向重复定位精度 (μm) Bi-Directional Repeatability Typical	±1μm	±1μm	±0.75μm
分辨率 (nm) Resolution Guaranteed	50nm
最小增量运动 (nm) Min.incremental Motion	100nm	200nm	200nm
直线度 (μm) Straightness	±3μm	±2μm	±2.5μm
平面度 (μm) Flatness	±3μm	±2μm	±2.5μm
最大速度 (mm/s) Maximum Speed	1000mm/s	200mm/s	200mm/s
最大加速度 (mm/s2) Maximum Acceleration	5000mm/s2	500mm/s2	500mm/s2
负载能力 (kg) Load Capacity	25kg
正交性 Orthogonality	5arcsec
检测溯源性 Traceability For Calibration	GB_T 17421.2-2016, 往返 5 次， ≥ 5Plot/L
平均无故障时间 MeanTime Before Failure(MTBF)	23000Hours
注：精度指标为负载桌面上方 25 mm 处测量。
注：其它驱动方式和精度要求可定制

产品图纸

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