产品中心

电控位移台: HMRS电控旋转台系列; HMTS精密电控平移台; HMGC精密电控倾斜台; HMVS精密电控升降台; HMDOM整体多维电控镜架; HMTMS整体多维电控平移台; PAM系列压电螺钉致动器; SMC步进电机控制器; 电控位移台组合示例
手动位移台: BPRS精密旋转台系列; BPTS精密平移台系列; BVTS精密升降台系列; BTP精密倾斜台系列; BTG精密角位台系列; BTMS整体多轴位移台系列; 手动位移台组合系列
光学调整架: 新品镜架; 光束转折镜架; 光学衰减镜架; 可调/同轴透镜架; 反射/分光镜架系列; 五维干涉仪镜架; 万向镜架; 可调式底片固定架; 棱镜台; 偏光镜架; 光阑系列; 狭缝系列; 观察屏/激光挡板
光纤调整架: 精密光纤调整架; 光纤调整架配件
支杆底座: 底板系列; 压板系列; 磁力底座; 接杆系列; 杆架系列; 支撑棒系列; 直角固定块系列; 光学滑轨系列; 光具座配件
光学平台: 光学平板; 光学面包板; 阻尼隔振光学平台; 气浮隔振光学平台; 光学罩箱; 光学平台支架; 仪器架; 工作站
光学仪器: 光栅单色仪; 光源; 锁相放大器
光学元件: 透镜; 反射镜; 棱镜、偏振片; 波片; 滤光片; 光栅、显微物镜; 激光防护眼镜
订制系统

特点：
◇ 可以根据客户需求定制二维、三维或者多维双 Z 轴系统，特别适合应用于一些自身重量比较大，但是要求高稳定，高精度的仪器设备的升降调节。一般双 Z 轴上面的负载可以高达 40kg ，其中的电动位移台应包括减速机和失电保护装置，保证断电情况下待测样品的安全性。

产品参数

技术指标要求：

◇ X( 水平平移 ) 和 Z( 垂直平移 ) 两维有效行程均为 500mm

◇ X 方向电移台需加宽，设计宽度为 300mm 一 400mm 稳定性更好

◇ 电动位移台 8 细分开环分辨率： 3.125μm

◇ 电动位移台重复定位精度：<3μm

◇ 运行直线度：<12μm/100mm

◇ 运行平直度：<25μm/100mm

◇ 竖直方向运行速度：2mm/s

◇ 水平方向移动速度：40mm/s

◇最大负载：45k

检测结果：

名称	量程范围及精度	测试结果
大行程二维平移台	扫描范围 650mmX500mm	合格
	二维扫描反射光斑跳动量 ( 以龙门吊电动台上的光束检测定位仪进行测量）：≤ 0.2mm	合格
	最大有效负载 : ≥ 85Kg	合格
	重复定位精度 : 优于 5μm	合格
	最大速度 : ≥ 30mm/s	合格
	俯仰直线度 : ≤ 50μm	合格
	方位直线度 : ≤ 50μm	合格

产品图纸

第15页-56