产品中心

电控位移台: HMRS电控旋转台系列; HMTS精密电控平移台; HMGC精密电控倾斜台; HMVS精密电控升降台; HMDOM整体多维电控镜架; HMTMS整体多维电控平移台; PAM系列压电螺钉致动器; SMC步进电机控制器; 电控位移台组合示例
手动位移台: BPRS精密旋转台系列; BPTS精密平移台系列; BVTS精密升降台系列; BTP精密倾斜台系列; BTG精密角位台系列; BTMS整体多轴位移台系列; 手动位移台组合系列
光学调整架: 新品镜架; 光束转折镜架; 光学衰减镜架; 可调/同轴透镜架; 反射/分光镜架系列; 五维干涉仪镜架; 万向镜架; 可调式底片固定架; 棱镜台; 偏光镜架; 光阑系列; 狭缝系列; 观察屏/激光挡板
光纤调整架: 精密光纤调整架; 光纤调整架配件
支杆底座: 底板系列; 压板系列; 磁力底座; 接杆系列; 杆架系列; 支撑棒系列; 直角固定块系列; 光学滑轨系列; 光具座配件
光学平台: 光学平板; 光学面包板; 阻尼隔振光学平台; 气浮隔振光学平台; 光学罩箱; 光学平台支架; 仪器架; 工作站
光学仪器: 光栅单色仪; 光源; 锁相放大器
光学元件: 透镜; 反射镜; 棱镜、偏振片; 波片; 滤光片; 光栅、显微物镜; 激光防护眼镜
订制系统

所有测量数据基于模组安装在 5μm 大理石台面上
最佳使用温度 20℃ +1℃
测量标准基于 HXsys 测量标准，符合 ISO230-2 or GBI7421
表面处理：铝 - 黑色阳极氧化正交度：<15urad(3 角秒 )
ACS 驱控一体带 PEG 同步位置输出 ◇ 激光干涉仪往返十次测试

产品参数

直线电机模组	X 轴性能参数	Y 轴性能参数
有效行程 (mm) Travel	400	400
定位精度 (μm) Accuracy	±1	±1
重复定位精度 (μm) Bi-Directional Repeatability	±0.5	±0.5
直线度 (μm) Horizontal Straightness	±2.5	±2.5
平面度 (μm) Flatness	±5	±5
编码器类型 (NA) Encoder Type	增量式光栅	增量式光栅
分辨率 (μm) Resolution	0.1	0.1
实际负载 (kg) Custom Load	20	20+X 轴
最大速度 (mm/s) Maximum Speed	500	500
最大加速度 (g) Maximum Acceleration	0.5	0.5
额定推力 (N) Contionuous Force	116	227
峰值推力 (N) Peak Force	579	1384
光电开关极性 (NA) Photoelectric Switch	NA	NA
线缆长度 (m) Cable Length	5	5

检验报告：

产品图纸