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高性能气浮隔振平台
气浮隔振光学平台
高性能气浮隔振平台

我司结合多年在隔振领域的研发及应用经验,开发的 一 款隔离器,支腿为独立式圆腿支撑,无整体共振,内 部三线摆设计可将振动隔离到更低的水平,并在受到干扰后实现高精度工作台重新定位,层流阻尼技术大大提 高阻尼效率, 混合腔设计极大增加给定的尺寸下的柔性体积, 同时有效降低了固有频率。

产品介绍

细节介绍:

 ◇ 高性能气动减振器, 共振频率最低 1HZ

◇ 混合腔设计最大程度的提高了工作稳定性与极低的固有频率 

◇ 支腿顶部配有安全连接件, 大大提升安全性

◇ 微米级层流阻尼

◇ SMC 纳米级高流量气动执行元件

◇ 三线摆设计最大程度的隔离振动并在受到干扰后实现高精度复位 

◇ 顶部调节装置可轻松完成 ±10mm 调节

◇ 气动控制单元采用进口品牌

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产品参数

技术指标:

 固有频率:垂直 <1.0-1.5HZ;水平 <1.0-1.5HZ( 与实际负载相关 ) 

 振幅:<0.002mm

调节方式:自动调平

台面平面度 <0.1mm/(600mm×600mm) ,台面粗糙度 <0.8μm

减振效率:垂直—5Hz 时:85-90%;10Hz 时:91-96%;水平—5Hz 时:87-92%;10Hz 时:92-97% 

工作复位精度:±0.1mm

隔振方式:三线摆杆、混合腔结构 ◇ 阻尼方式:微米级层流阻尼

气源:标配静音空气压缩机;噪音:52db 

标准整体高度:800mm( 可定制 )

型号

尺寸 (mm)

台面厚度 (mm)

支腿数量

支腿外径 (mm)

孔间距 (mm)

台面重量 (kg)

HBTW-12-08

1200×800

100

4

φ300

25×25

 112

HBTW-12-10

1200×1000

100

4

φ300

25×25

 140

HBTW-15-10

1500×1000

200

4

φ300

25×25

 206

HBTW-20-10

2000×1000

200

4

φ300

25×25

 276

HBTW-30-10

3000×1000

300

6

φ300

25×25

 498

HBTW-15-12

1500×1200

200

4

φ300

25×25

 248

HBTW-18-12

1800×1200

200

4

φ300

25×25

 302

HBTW-20-12

2000×1200

200

4

φ300

25×25

 334

HBTW-24-12

2400×1200

200

4

φ300

25×25

 401

HBTW-30-12

3000×1200

300

6

φ300

25×25

 597

HBTW-35-12

3500×1200

300

6

φ300

25×25

≈ 698

HBTW-20-15

2000×1500

200

4

φ300

25×25

 418

HBTW-24-15

2400×1500

200

4

φ300

25×25

 501

HBTW-30-15

3000×1500

300

6

φ300

25×25

 748

HBTW-35-15

3500×1500

300

6

φ300

25×25

≈ 872

HBTW-40-15

4000×1500

300

6

φ300

25×25

≈ 998

诸多尺寸未能完全列出,支持定制任意尺寸,如有其它尺寸需求,请联系我们

注:选择蜂窝粘接光学平台时,型号应增加 B,如 HBTW-12-08B


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