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压电螺钉致动器
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压电螺钉致动器
PAM系列压电螺钉致动器
压电螺钉致动器

压电螺钉致动器是一种小型压电致动器,其定位精度小于30纳米,只需将手动精密位移台的微米头替换为压电螺钉致动器,即可实现纳米级精度的位移。

产品介绍

优势: 

不回撤,且定位在断电后仍可保持 

定位精度小于30纳米 支持手柄操作

也支持软件操作 软件可嵌入,

支持二次开发 结合数据反馈

可实现自动调整 

广泛应用于:精密位移台、光学镜架微调整、激光光路调整、耦合机精密对位

应用案例

多轴精密位移台

第28页-39

优势:                                                                           应用场景: 

  分辨率:小于30nm                                                 显微操纵 扫描显微镜 

  行程:13 mm 断电后位置保持                                   高分辨率显微镜 精密组装、检测、测量

双轴镜架(θ1轴/θ2轴)

第29页-43


优势:                                                                             应用场景: 

  可实现微米弧度级调整                                                 干涉仪构 

  结合数据反馈                                                              激光照射定位 

  可实现自动调整断电后位置保持                                   激光光路快速和自动调节

结构与工作原理

Piezo Assist Motor® 内部采用压电惯性旋转机构,通过带动转子旋转,在螺杆方向产生推力。

压电螺钉促进器原理图

image

转子、螺杆与旋钮作为一个整体相连,同时与联动装置夹紧。当压电陶瓷材料发生伸展时,联动装置A和联动装置B会产生前后移动,利用转子与联动装置之间的摩擦力来实现间歇式前进。

若加速度产生的惯性力小于静摩擦力,则发生旋转;若大于静摩擦力,则发生滑动。

 


产品参数

 image

型号

PAM3-6.5

PAM6-13

位移精度

<30 nm

<25 nm

最大负载

15 N

30 N

最高驱动频率

1500Hz

1500Hz

最快速度

1.5 mm/min

1.5 mm/min

行程

6.5 mm

13 mm

安装接头螺纹规格

M6

M9x0.5

尺寸

41×21.6×8.2mm

61×31×15.1 mm

工作温度

10–40℃

10–40℃

存放温度

5–40℃

5–40℃

环境湿度

10-80%RH

(无凝结现象)

10-80%RH

(无凝结现象)

连接器接口

SMB

SMB

寿命

>10亿次驱动频率

>10亿次驱动频率

重量

20

50

操作波形:

image

image

控制系统:

第32页-47(1)

当需要连接更多压电螺钉促动器时,可将多台PAMC-204串联使用,用电子控制。

PAMC-204不可以连接手动控制器PAM-RC100

       PAMC-104不支持串联使用

驱动器规格

产品图片

image

 image

型号

PAMC104

PAMC204

控制轴数

4

4

最大驱动频率

1500Hz

1500Hz

接口

RS232C

USB/RS232C

电源

输入:DC24V

输入:DC24V

输出:150V

输出:75-150V(可调)

电流

-

0.5A Max

尺寸

200 x 162 x 50mm

150 x 92 x 27mm

工作温度

5–40℃

5–40℃

存放温度

5–40℃

5–40℃

环境湿度

10-80%RH

10-80%RH

重量

1200g

350g

特点

不可串联使用

可连接手动控制器PAM-RC100

支持电子控制

可串联使用,实现大于4轴应用场景不可连接手动控制器PAM-RC100

仅支持电子控制

手动控制器规格:


产品图片

image 

型号

PAM-RC100

控制轴数

4

最大驱动频率

1500Hz

接口

RS232C

尺寸

102×78×30 mm

工作温度

0–40℃

存放温度

0–40℃

环境湿度

10-80%RH

重量

320g



使用时注意事项

1. 请仅使用专用控制器(PAMC-104 或 PAMC-204)。

2. 插拔电缆前请先关闭电源。

3. 请勿拆解或改装电机及控制器。

4. 禁止在易燃或高湿环境中使用。

5. 如有异味、异常噪音、过热,应立即停机检查。

6. 若跌落或受冲击后,请勿通电。

7. 工作时请勿触摸,以防触电。

8. 到达螺杆端部时,可用旋钮手动调节。

9. 装置为开环,如需绝对位置,请外接传感器闭环控制。

10. 工作时会产生高频噪声。

11. 建议定期全行程旋转旋钮,防止润滑脂硬化。

12. 安装时建议使用 C 型紧固方式,避免过大扭矩导致损坏。



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